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产品简介
手动探针台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。手动探针台这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台，具有良好的真空性能和精准的温控系统。
产品参数：
1.温度范围： -196℃~400℃
2.加热区： φ27mm
3.探针行程： 13mm
4.探针位移精度 1μm
5.探针针尖直径（默认） 100μm
6.物镜工作距离： 15mm
7.通光孔直径： 2mm
8.最大升温速率： 0~60℃/min
9.观察窗： φ40mm
10.温控精度： 0.1℃
11.极限真空： 1pa（机械泵）,5x10^(-3)pa(分子泵)
12.支持反射/透射模式
13.支持改动和定制
14.上位机软件控制
| 型号 | MHS300V-4P | MHS400V-4P | |
| 温控模块 | 加热/制冷方式 | 电阻加热，液氮制冷 | |
| 温控范围 | -196~300°C* | -196~400°C* | |
| 温度稳定性 | ±0.1°C | ||
| 温度分辨率 | 0.1°C | ||
| 最大升温速率 | 0~60°C/min (可定点/程序段控温) | ||
| 温控方式 | PID | ||
| 温度传感器 | PT100 | ||
| 光学特性 | 光路 | 反射/透射光路（可选） | |
| 视窗材质 | 石英玻璃* | ||
| 视窗尺寸 | φ40mm* | ||
| 视窗厚度 | 0.5mm* | ||
| 物镜工作距离 | 15mm* | ||
| 透光孔 | φ2mm* | ||
| 电学特性 | 探针 | 移动探针模组x4 *,手动调整XYZ | |
| 探针行程 | 13mm | ||
| 探针位移精度 | 1μm | ||
| 探针接口 | SMA 接口x4* | ||
| 探针直径 | 10 / 50 / 100 μm* | ||
| 样品台面电位 | 接地（默认接地）/电悬空/三同轴*（可选） | ||
| 结构特性 | 样品台尺寸 | φ27mm* | |
| 样品台材质 | 铜质* | 纯银* | |
| 外形尺寸 | 460x290x82mm* | ||
| 样品腔高度 | 12mm* | ||
| 腔室 | 真空 | ||
| 基本配置 | 冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件 | ||
| 选配 | 电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制 | ||
| 备注 | 以上为默认参数 * 为可定制项 | ||
| 其他可选型号 | 按需求进行配置 | ||
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