HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台热台拥有高精度的探针位移平台，良好的气密性能和精准的温控系统。

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更新时间：2025-09-08

厂商性质：经销商

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HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台热台拥有高精度的探针位移平台，良好的气密性能和精准的温控系统。

温度范围： -196℃~600℃

加热区： φ27mm

探针行程： 13mm

探针位移精度 1μm

探针针尖直径（默认） 100μm

物镜工作距离： 15mm

通光孔直径： 2mm

最大升温速率： 0~150℃/min

观察窗： φ40mm

温控精度： 0.1℃

支持反射/透射模式

支持改动和定制

上位机软件控制

型号		MHS300G-4P	MHS600G-4P
温控模块	制冷/加热方式	液氮制冷,电阻加热
	温控范围	-196~300°C*	-196~600°C*
	温度稳定性	±0.1°C
	温度分辨率	0.1°C
	最大升温速率	0~150°C/min (可定点/程序段控温)
	温控方式	PID
	温度传感器	PT100
光学特性	光路	反射/透射光路（可选）
	视窗材质	石英玻璃*
	视窗尺寸	φ40mm*
	视窗厚度	0.5mm*
	物镜工作距离	15mm*
	透光孔	φ2mm*
电学特性	探针	移动探针模组x4 *,手动调整XYZ
	探针行程	13mm
	探针位移精度	1μm
	探针接口	SMA 接口x4*
	探针直径	10 / 50 / 100 μm*
	样品台面电位	接地（默认接地）/电悬空/三同轴*（可选）
结构特性	样品台尺寸	φ27mm*
	样品台材质	铜质*	纯银*
	外形尺寸	460x290x82mm*
	样品腔高度	12mm*
	腔室	气密
基本配置	冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、循环水系统x1、温控软件
选配	电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制
备注	以上为默认参数 * 为可定制项
其他可选型号	按需求进行配置

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