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产品简介
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HEMADE MC12晶圆加热盘拥有宽泛的温度测试范围,紧凑的卡盘设计和稳定的温度控制系统。我们提供多种定制服务,根据客户的实验需求对诸如平面度,温度范围,升降温速率等各种参数进行调整。
HEMADE MC12晶圆加热盘我们也可以按照客户的需求定制不同尺寸的温控台面和样品夹具。
产品参数:
1.温度范围: -50℃~300℃(可定制)
2.加热区: 12寸(4寸,6寸,8寸)
3.最大升温速率: 10℃/min
4.温控精度: 0.1℃
5.温度均匀性: 30~200℃ < ±2℃,200~300℃ < ±1%(φ300mm 均匀度面积)


| 型号 | MC12 | |
| 温控模块 | 温控范围 | -50°C~300°C* |
| 加热区 | 12寸(4寸,6寸,8寸)* | |
| 最大升温速率 | 0-10℃/min* | |
| 温控精度: | 0.1°C | |
| 温度均匀性: | 30~200℃ < ±2℃,200~300℃ < ±1%(φ300mm 均匀度面积) | |
| 基本配置 | 晶圆加热盘x1、温控系统x1、循环水系统x1、温控软件 | |
| 选配 | 其他定制 | |
| 备注 | 以上为默认参数 * 为可定制项 | |
| 其他可选型号 | 按需求进行配置 | |
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